2潔凈室空調系統 一般潔凈室(包括工業潔凈室和生物潔凈室)可分為兩類: 一種是空調凈化系統的集中空氣處理和集中送風方式。所有送至潔凈車間的空氣(即消除室內余熱、濕度，維持室內正壓，保證室內潔凈度的所有送風量)均由送風管道進行粗、中效過濾、降溫減濕或加熱加濕等凈化和熱濕處理，然后送至潔凈車間送風口，經過HEPA或UL。所有回風通過集中回風管道拉回空調機房與新風混合后再次進行一系列熱濕處理，如此往復循環。

根據生產工藝對生產環境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風系統。① DC供氣系統。 (2)回風供應系統。 (3)一、二次回風送風系統。 ④新風機組(MAU)和循環機組(RCU)送風系統。 其次是空調凈化系統中的空氣分離和送風方式。一種將送風與空調送風分開的方法，以消除室內余熱和濕度，潔凈送風，保證室內潔凈度水平。即消除室內余熱和濕度的空調送風量(約占總送風量的10% ~ 30%)在位于空調機房的空調機組(AHU)或新風機組(MAU)中進行熱濕處理，保證室內溫度和相對濕度，凈化送風量(占總送風量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環，保證室內潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗