2潔凈室空調系統 一般潔凈室(包括工業潔凈室和生物潔凈室)可分為兩類: 一種是空調凈化系統的集中空氣處理和集中送風方式。所有送至潔凈車間的空氣(即消除室內余熱、濕度，維持室內正壓，保證室內潔凈度的所有送風量)均由送風管道進行粗、中效過濾、降溫減濕或加熱加濕等凈化和熱濕處理，然后送至潔凈車間送風口，經過HEPA或UL。所有回風通過集中回風管道拉回空調機房與新風混合后再次進行一系列熱濕處理，如此往復循環。

潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室空調凈化系統的能耗遠大于一般的舒適性空調。隨著凈化水平的提高，潔凈室的空調能耗也急劇增加。潔凈室空調系統主要能耗: (1)為了維持潔凈室所需的溫度和相對濕度，有必要對m線進行必要的熱濕處理(冷卻、除濕、加熱、加濕...)到潔凈室，所以需要向空調凈化系統和蒸汽供應制冷和制熱，消耗大量能源。 (2)為了保證潔凈室的潔凈度、溫度、濕度等參數，必須將大量的空氣送入潔凈室，送風的風機、供水的水泵等動力設備也消耗了相當大的能量。 (3)上述供冷、供熱、供汽所消耗的能源和送風、供水設備所消耗的電力。 (4)潔凈室冷負荷的主要負荷是新風冷負荷，它消除了工藝設備和工藝產生的冷負荷，抵消了風機和水泵產生的冷負荷，而圍護結構、照明和操作人員三者的冷負荷相對較小，有數據顯示其負荷不到高級別潔凈車間總冷負荷的10%。