另一方面，濕蝕刻僅是化學(xué)過程，干蝕刻等向性蝕刻與異向性蝕刻同時(shí)存在，濕蝕刻：利用化學(xué)藥液將需要蝕刻掉的物質(zhì)蝕刻掉，濕蝕刻為等向性蝕刻，濕蝕刻機(jī)臺(tái)便宜，蝕刻速度快，但難以jing確控制線寬和獲得極其精細(xì)的圖形并且需要大量用水，污染大；干蝕刻機(jī)臺(tái)價(jià)格昂貴，蝕刻速度速度慢，但可以jing確控制線寬能獲得極其精細(xì)的圖形，而且不需要用水，污染小，蝕刻工藝是一項(xiàng)工業(yè)應(yīng)用，涉及到我們生活中的全方面應(yīng)用，在工業(yè)制造中是不可缺少的中間工藝，其應(yīng)用領(lǐng)域緊密的以我們生活中的“吃、穿、住、行”為主要應(yīng)用，無論是行業(yè)應(yīng)用，或者是生活生產(chǎn)，蝕刻工藝是不可取代，且不可缺失的。

傳統(tǒng)的蝕刻工藝因?yàn)榇嬖诩夹g(shù)落后、生產(chǎn)成本高、嚴(yán)重的污染問題，guo家在環(huán)保政策的要求下強(qiáng)勢(shì)淘汰傳統(tǒng)工藝，整個(gè)蝕刻行業(yè)亟需解決行業(yè)升級(jí)、技術(shù)換代的問題，且迫在眉睫，蝕刻優(yōu)版創(chuàng)新技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，微加工過程中有很多加工步驟，現(xiàn)代工藝上，不銹鋼蝕刻板針對(duì)高精密、精細(xì)化的產(chǎn)品上無法滿足，其蝕刻工藝手段非常適用對(duì)精密化產(chǎn)品，比如汽車機(jī)械部件、墊片和間隔墊圈、高性能密封墊片、各種過濾網(wǎng)片，電動(dòng)汽車電池片，汽車?yán)染W(wǎng)上均采用蝕刻工藝。

現(xiàn)在可以對(duì)涂覆的晶片進(jìn)行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中，各向同性蝕刻，即在所有方向上均相等的蝕刻，是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式，如果允許蝕刻劑反應(yīng)足夠長(zhǎng)的時(shí)間，如圖1所示，蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料，可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑，然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況，加工出來的產(chǎn)品沒有毛刺，沒有臟污，表面更是光滑，蝕刻加工是其他機(jī)械的工藝都無法加工的高精密產(chǎn)品。