蝕刻是從材料表面去除材料的過(guò)程,蝕刻的兩種主要類型是濕蝕刻和干蝕刻(例如,等離子體蝕刻),涉及使用液體化學(xué)藥品或蝕刻劑去除基板材料的蝕刻工藝稱為濕蝕刻,通常所指金屬蝕刻加工也被稱為化學(xué)蝕刻加工,通過(guò)制版,經(jīng)過(guò)曝光(紫外線圖像轉(zhuǎn)移)到金屬上面,將圖案顯影后,將要蝕刻的保護(hù)層去掉,在蝕刻過(guò)程中接觸化學(xué)藥水,讓兩面的圖案通過(guò)化學(xué)腐蝕研磨的作用,形成凹凸和鏤空成形的效果,金屬蝕刻加工具有很強(qiáng)的針對(duì)性的工藝。
蝕刻幾微米的非常薄的層將去除在背面研磨過(guò)程中產(chǎn)生的微裂紋,導(dǎo)致晶片具有顯著增加的強(qiáng)度和柔性,對(duì)于各向同性濕法蝕刻,氫氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常見(jiàn)的蝕刻劑溶劑,每種蝕刻劑的濃度決定了蝕刻速率,二氧化硅或氮化硅經(jīng)常被用作對(duì)抗HNA的掩蔽材料,彩色不銹鋼蝕刻板具有較高的耐磨、抗刻劃特性高于普通不銹鋼,常用于酒店、賓館、娛樂(lè)場(chǎng)所、gao檔皮牌專賣店、車廂板、廳堂墻板、天花板、招牌、門窗裝飾等。
現(xiàn)在可以對(duì)涂覆的晶片進(jìn)行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應(yīng)足夠長(zhǎng)的時(shí)間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過(guò)在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來(lái)避免這種情況,加工出來(lái)的產(chǎn)品沒(méi)有毛刺,沒(méi)有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機(jī)械的工藝都無(wú)法加工的高精密產(chǎn)品。