另一方面,濕蝕刻僅是化學(xué)過程,干蝕刻等向性蝕刻與異向性蝕刻同時存在,濕蝕刻:利用化學(xué)藥液將需要蝕刻掉的物質(zhì)蝕刻掉,濕蝕刻為等向性蝕刻,濕蝕刻機(jī)臺便宜,蝕刻速度快,但難以jing確控制線寬和獲得極其精細(xì)的圖形并且需要大量用水,污染大;干蝕刻機(jī)臺價(jià)格昂貴,蝕刻速度速度慢,但可以jing確控制線寬能獲得極其精細(xì)的圖形,而且不需要用水,污染小,蝕刻工藝是一項(xiàng)工業(yè)應(yīng)用,涉及到我們生活中的全方面應(yīng)用,在工業(yè)制造中是不可缺少的中間工藝,其應(yīng)用領(lǐng)域緊密的以我們生活中的“吃、穿、住、行”為主要應(yīng)用,無論是行業(yè)應(yīng)用,或者是生活生產(chǎn),蝕刻工藝是不可取代,且不可缺失的。
蝕刻幾微米的非常薄的層將去除在背面研磨過程中產(chǎn)生的微裂紋,導(dǎo)致晶片具有顯著增加的強(qiáng)度和柔性,對于各向同性濕法蝕刻,氫氟酸、硝酸和乙酸(HNA)的混合物是硅zui常見的蝕刻劑溶劑,每種蝕刻劑的濃度決定了蝕刻速率,二氧化硅或氮化硅經(jīng)常被用作對抗HNA的掩蔽材料,彩色不銹鋼蝕刻板具有較高的耐磨、抗刻劃特性高于普通不銹鋼,常用于酒店、賓館、娛樂場所、gao檔皮牌專賣店、車廂板、廳堂墻板、天花板、招牌、門窗裝飾等。
現(xiàn)在可以對涂覆的晶片進(jìn)行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應(yīng)足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產(chǎn)品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機(jī)械的工藝都無法加工的高精密產(chǎn)品。