根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風系統(tǒng)。① DC供氣系統(tǒng)。 (2)回風供應系統(tǒng)。 (3)一、二次回風送風系統(tǒng)。 ④新風機組(MAU)和循環(huán)機組(RCU)送風系統(tǒng)。 其次是空調(diào)凈化系統(tǒng)中的空氣分離和送風方式。一種將送風與空調(diào)送風分開的方法，以消除室內(nèi)余熱和濕度，潔凈送風，保證室內(nèi)潔凈度水平。即消除室內(nèi)余熱和濕度的空調(diào)送風量(約占總送風量的10% ~ 30%)在位于空調(diào)機房的空調(diào)機組(AHU)或新風機組(MAU)中進行熱濕處理，保證室內(nèi)溫度和相對濕度，凈化送風量(占總送風量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環(huán)，保證室內(nèi)潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通?？烧伎偰芎牡?5% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)能耗高的原因: (1)凈化風量大。不同凈化級別的潔凈室的風量是同面積舒適空調(diào)的1.5倍。55倍，送風壓力也是2-3倍，所以鼓風機的溫升消耗了大量的冷能。 ②潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)新風量大。一般情況下，新風量等于排風量和正壓漏風量之和，所以生產(chǎn)過程排風量大，所以新風量大。因此，新風的熱濕處理需要消耗大量的能量。 (3)潔凈室中的工藝設備和工藝熱值高，連續(xù)二班或三班運行。所以能耗也大。 ④潔凈室內(nèi)生產(chǎn)技術對溫度、濕度、精度的要求非常高，非常嚴格。也是能耗高的原因。