如果含有標準物質，就需要用多重分裂的方式來進行擬合，XPS測出來的原子比和化學式中的原子比不一樣是正常的嗎，比如說TiO2，很后測出來O：Ti不是2：答：這個是非常正常的，在小白班di一節課我們強調了XPS是探測表面3-10nm的技術，但是我們都知道，表面和體相是不一樣的，表面是容易被吸附到污染物質，且容易造成氧空位，下面以超級電容器Ni(OH)2摻雜Co(OH)2的電極材料樣品的數據為例進行NLLFS擬合，具體操作如下。

此外，EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態，且EDS的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數據分析不大準，答：不少人說XPS分析不準，其實很多時候，不是儀器原因，而是我們的知識儲備影響著我們的判斷，與右邊標準譜圖對比，很右邊是衛星峰，而左圖直接標示為Ni(OH)2和NiO。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續發射而得不到電子補充，使得樣品表面出現電子虧損，這種現象稱為“荷電效應”，荷電效應將使樣品表面出現一穩定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應將引起能量的位移，使得測量的結合能偏離真實值，造成測試結果的偏差，高分辨譜經過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態了，或者通過反應前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結構的變化信息等等。