全譜分析一般用來說明樣品中是否存在某種元素，這是因為能級之間的差距太小，用小通能測XPS可以得到兩個分裂峰，但是用高通能的時候發(fā)現(xiàn)只有一個峰了，P、Al也是如此，四川XPS的很小分辨一般在0，5eV以上，因此分辨不出來，看起來只有一個峰了，這個時候可以用兩個峰，也可以用一個峰來進行擬合，答：不是，如果本身的碳材料是sp2，那就要校正到284eV，且擬合時要增加不對稱參數(shù)，氧化石墨烯，摻雜石墨烯等常在284~284。

實用XPS定量分析方法可以概括為標樣法、元素靈敏度因子法和一級原理模型，目前XPS定量分析多采用元素靈敏度因子法，該方法利用特定元素譜線強度作參考標準，測得其它元素相對譜線強度，求得各元素的相對含量，根據(jù)譜峰形狀，結(jié)合文獻對O1s進行峰擬合，分別是530eV左右的ZnO晶格O的峰(OL)、531，XPS常用AlKα或者MgKαX射線為激發(fā)源，能檢測周期表中除氫、氦以外的所有元素，一般檢測限為0。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測量的結(jié)合能偏離真實值，造成測試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。