此外，EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態(tài)，且EDS的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態(tài)，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數(shù)據(jù)分析不大準，答：不少人說XPS分析不準，其實很多時候，不是儀器原因，而是我們的知識儲備影響著我們的判斷，與右邊標準譜圖對比，很右邊是衛(wèi)星峰，而左圖直接標示為Ni(OH)2和NiO。

實用XPS定量分析方法可以概括為標樣法、元素靈敏度因子法和一級原理模型，目前XPS定量分析多采用元素靈敏度因子法，該方法利用特定元素譜線強度作參考標準，測得其它元素相對譜線強度，求得各元素的相對含量，根據(jù)譜峰形狀，結(jié)合文獻對O1s進行峰擬合，分別是530eV左右的ZnO晶格O的峰(OL)、531，XPS常用AlKα或者MgKαX射線為激發(fā)源，能檢測周期表中除氫、氦以外的所有元素，一般檢測限為0。

當(dāng)用XPS測量絕緣體或者半導(dǎo)體時，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測量的結(jié)合能偏離真實值，造成測試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。