C1s校正后，其他峰和標準峰峰位相差多少算合理？以及分峰的峰位相差在多少范圍內合理？，答：有些峰會偏移的大一些，一般情況，峰位相差0，5eV以內，如果相差過大，需要考慮是否是校正存在問題，XPS之所以無法檢測H、He，是因為：1)H和He的光電離界面小，信號太弱；2)H1s電子很容易轉移，在大多數情況下會轉移到其他原子附近，檢測起來非常困難;3)H和He沒有內層電子，其外層電子用于成鍵，H以原子核形式存在。

針對上述復雜圖譜，常規擬合方法較難取得好的擬合效果，而采用Avantage軟件中獨有的NLLSF擬合功能可得到較好的擬合結果，下面我們來講解一下如何進行擬合，例如，對于此電容器樣品，要想進行NLLFS擬合，我們需要獲得純Co(OH)2的窄掃參考譜圖，即沒有Ni(OH)2俄歇峰干擾的譜圖；Ni(OH)2在Co元素結合能范圍段（770~820ev）的俄歇參考譜圖，即不含Co(OH)2干擾的譜圖，如下圖2。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續發射而得不到電子補充，使得樣品表面出現電子虧損，這種現象稱為“荷電效應”，荷電效應將使樣品表面出現一穩定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應將引起能量的位移，使得測量的結合能偏離真實值，造成測試結果的偏差，高分辨譜經過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態了，或者通過反應前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結構的變化信息等等。