全譜分析一般用來說明樣品中是否存在某種元素，這是因為能級之間的差距太小，用小通能測XPS可以得到兩個分裂峰，但是用高通能的時候發現只有一個峰了，P、Al也是如此，四川XPS的很小分辨一般在0，5eV以上，因此分辨不出來，看起來只有一個峰了，這個時候可以用兩個峰，也可以用一個峰來進行擬合，答：不是，如果本身的碳材料是sp2，那就要校正到284eV，且擬合時要增加不對稱參數，氧化石墨烯，摻雜石墨烯等常在284~284。

針對上述復雜圖譜，常規擬合方法較難取得好的擬合效果，而采用Avantage軟件中獨有的NLLSF擬合功能可得到較好的擬合結果，下面我們來講解一下如何進行擬合，例如，對于此電容器樣品，要想進行NLLFS擬合，我們需要獲得純Co(OH)2的窄掃參考譜圖，即沒有Ni(OH)2俄歇峰干擾的譜圖；Ni(OH)2在Co元素結合能范圍段（770~820ev）的俄歇參考譜圖，即不含Co(OH)2干擾的譜圖，如下圖2。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續發射而得不到電子補充，使得樣品表面出現電子虧損，這種現象稱為“荷電效應”，荷電效應將使樣品表面出現一穩定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應將引起能量的位移，使得測量的結合能偏離真實值，造成測試結果的偏差，高分辨譜經過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態了，或者通過反應前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結構的變化信息等等。